設備故障診斷系統資訊：無線電波工業公司研制了一種可檢測 ± 50Kgal的石英無線振動傳感器

無線電產業開發了以應時晶體為傳感元件的傳感器模塊，可以頻率檢測重力、加速度、傾斜、位移等物理量的微小變化。一體化振動變送器將壓電傳感器和精密測量電路集成在一起，實現了傳統“傳感器+信號調理器”和“傳感器+監測儀表”模式的振動測量系統的功能；適合構建經濟型高精度振動測量系統。無線振動傳感器基于無線技術的機器狀態監測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態報警。應用于工業設備狀態管理及監測控制系統；適合現場設備運行和維護人員監測設備狀態，及時發現問題，保證設備正?？煽窟\行。振動故障診斷監測系統分析范圍20KHz；緩變信號通道不少于32路，16位精度，動態信號通道不少于4路，102.4kS/s；系統變攜，可以自帶電源連續工作4小時。加速度的*大檢測范圍為50kGal，*小精度為1mGal。與原有的MEMS傳感器相比，加速度檢測范圍和精度提高了一個數量級，可以在較寬的動態范圍內檢測加速度。適用于地震勘測、資源勘探、結構振動測量、測斜儀、土木測量、平衡調整\\ u002f機械和車輛速度檢測、人工觸摸、磁場檢測和自動無人機械。

該模塊在安裝了溫度補償用恒溫槽之后的尺寸*大為W100mmD100mmH75mm。重550g。該模塊構造方法簡單，能夠可以直接影響無線網絡傳輸技術檢測分析數據，而且我們不需要將電壓轉換成頻率的裝置，因此，不論單個模塊的成本管理還是裝入測量、勘探信息系統后的總體設計成本問題都得以降低。對于企業設置和拆除工作，還有一些利于減輕經濟負擔和縮短時間。

與其他傳感器材料相比，石英晶體具有彈性好（約為硅的1600倍）、抗沖擊性好、探測范圍寬等優點。 然而，由于石英晶體的機電耦合系數小于其它材料的機電耦合系數，因此對于傳感器和元件需要高度穩定的微制造技術，并且對于檢測信號需要頻率穩定技術。 作為石英晶體器件的綜合制造商，公司開發的這些技術的開發得到了進一步的改進。

為了檢測微小的變化，技術人員將傳感器組件做成懸臂梁的形狀，電極與自由端相對電極之間距離的變化首先轉換成靜電容量的變化，然后轉換成頻率。這種材料由***的人造石英晶體制成，這是一種 AT 切割的石英晶體振蕩器，由于溫度的變化，頻率變化很小。在樣品價格方面，溫度補償模塊的參考價格為每個15萬日元。