設備故障診斷系統資訊：傳感器與MEMS技術的協同發展

傳感器發展的另一個主要特點是向集成化、智能化方向發展。電渦流位移傳感器能靜態和動態地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。無線振動傳感器基于無線技術的機器狀態監測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態報警。應用于工業設備狀態管理及監測控制系統；適合現場設備運行和維護人員監測設備狀態，及時發現問題，保證設備正?？煽窟\行。設備故障診斷系統具有緩變信號（如溫度、壓力、轉速、流量等）與動態信號（如振動信號）的數據融合處理功能；具有黑匣子記錄功能；系統滿足車輛振動沖擊環境下的使用要求。集成傳感器的優點是傳統的傳感器無法達到的，它不僅是一個簡單的傳感器，它將輔助電路元件和傳感器元件同時集成在一個芯片上，它具有校準、補償、自診斷和網絡通信等功能。它可以降低成本，提高產量。智能傳感器是一種微處理器傳感器，是微機與傳感器相結合的產物。它具有檢測、判斷和信息處理功能，與傳統傳感器相比具有許多特點，具有判斷和信息處理、多傳感器多參數測量、自診斷和自校準、測量數據訪問、數據通信接口和與微機直接通信等功能。將傳感器、信號調理電路和單片機集成在一個芯片上，形成超大規模集成的**智能傳感器已成為一種新的發展趨勢。

傳感器是一種接收和響應信號的裝置。傳感器的靈敏度顯示是指傳感器輸出的變化。測量微小變化的傳感器必須具有非常高的靈敏度。傳感器也會影響它們的測量；例如，室溫的溫度計插入一杯熱液體到冷卻液的加熱溫度計中，并隨液體而變化。傳感器需要設計一個影響測量的因素；可以改進傳感器，同時可以引入其他優點。隨著技術的發展，越來越多的傳感器作為微傳感器來應用MEMS技術。**的MEMS技術意味著制造商現在可以生產非常精確的MEMS傳感器和器件，但其中許多無法直接安裝到*終應用中，因為它們無法經受住苛刻的*終組裝。相反，傳統傳感器可以在任何組裝過程和任何應用中生存，但它們太昂貴了。商業制造商面臨的挑戰是將MEMS價格和成型因素結合起來，然后將其封裝成能夠承受惡劣環境的產品。

　　今天,除了新方式來包裝和集成MEMS器件，大部分企業工業創新和發展商業市場機會集中在應用系統程序的現有MEMS器件。MEMS傳感器主要包括加速度計(ACC)、陀螺儀(GYRO)、磁力計(MAG)、壓力以及傳感器(PS)和話筒(MIC)。因為一個低成本，小尺寸，低功耗，高性能，MEMS傳感器近幾年來被集成到便攜電子設備內。

　　快速的CPU、多任務處理的操作系統、高靈敏度GPS接收器、3G/4G無線通信芯片組、高分辨率數字攝像頭、觸摸屏LCD顯示屏和大容量存儲器是智能手機的共同特性。MEMS傳感器的用途不再局限于當前的應用領域，例如，屏幕旋轉、省電、運動檢測、數字羅盤和3D游戲。目前導航廠商正在開發更**的MEMS傳感器應用，例如，增強實境(AR)、定位服務(LBS)、行人航位推算系統(PDR)。